1. 参与光刻机设备与测量设备采购、装机和调试；
2. 参与光刻工艺开发以及工艺菜单的确定（包括光刻胶选定、光刻工艺模拟和验证、光刻工艺条件确定；确定光刻曝光、涂胶显影、测量程序等）；
3. 负责记录机台运行状态/维护记录的备案；
4. 技术创新和经验积累（撰写专利、机台改良、典型设备case调查报告等）；
5. 参与部门团队建设，参与部门流程和制度建立改善以及新人在岗培训等。